单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。
非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。
洁净室或洁净设施温、湿度测定,通常分为两个档次:一般测试和综合测试。个档次适用于处于空态的交竣验收测试,第二个档次适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于对温度、湿度性能要求比较严格的场合。
每个湿度控制区至少设置一个湿度传感器,并且给传感器充分的稳定时间。所做测量应适合实际使用的目的,待传感器稳定之后才开始测量,测量时间不少于5分钟。
这项检测的目的是验证完工设施与周围环境之间、设施内各空间之间保持规定压差的能力。
压差检测要求:
(1)静压差的测定要求在洁净区内的所有门全部关闭情况下进行。
(2)在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行,一直检测到直通室外的房间。
(3)所测量记录的数据应到 1.0Pa。