净化车间中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。无尘室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为净化车间。
净化车间的主要功能为室内污染控制,没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。净化车间被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
十万级净化车间标准
十万级净化车间标准一:尘粒允许数≥0.5微米的粒子数不超过350万个,≥5微米的粒子数不超过2万个。
十万级净化车间标准二:微生物允许数,浮游菌数不超过500个/m³;沉降菌数不超过10个/培养皿。
十万级净化车间标准三:压差。相同洁净度等级的洁净室压差保持一致,对于不同洁净等级的相邻洁净室之间压差要≥a,洁净室与非洁净室之间要≥10Pa(主要是为了保障空气从洁净区流向非洁净区,避免气流倒灌)。